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  • 科技动态 国产集成电路设备重大突破 中微半导体5纳米刻蚀机通过台积电验证 日期:2018-12-19 点击:352 好评:0

    根据解放日报12月18日消息,近期中微半导体自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证,性能优良,将用于全球首条5纳米制程生产线。5纳米相当于头发丝直径的二万分之一,是集成电路制程工艺最小线宽。台积电宣布2019年将进行5纳米制程试产、预计2020年量产。 刻蚀机是芯片制造的关键设备之一,曾...

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