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国家自然科学基金委专家对微电子所国家重大科研仪器设备研制项目进行现场考察

时间:2017-09-27来源:微电子研究所 点击: 百度搜索

【导读】9 月 15 日 ,国家自然科学基金委领导及专家对微电子所国家重大科研仪器设备研制项目(项目名称:二维电子材料及纳米量子器件的研究和原位分析仪器)进行现场考察。会议由国家自然科学......
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  915,国家自然科学基金委领导及专家对微电子所国家重大科研仪器设备研制项目(项目名称:二维电子材料及纳米量子器件的研究和原位分析仪器)进行现场考察。会议由国家自然科学基金委信息科学部副主任张兆田主持,院主管部门领导、所领导、相关部门及业务负责人参加。

  该项目由微电子设备技术研究室(八室)主任夏洋研究员担任项目负责人,以中国科学院微电子研究所为依托单位,北京大学、浙江大学、复旦大学、中国科学院半导体研究所和中山大学共同参与。

  国家自然科学基金委信息科学部主任柴天佑院士首先介绍了此次会议主要内容,他指出该项目有很多创新之处,希望通过此次现场考察会,与会专家们多提宝贵意见。中科院条财局副局长曹凝和微电子所所长叶甜春在讲话中指出,科研仪器项目一直是院、所重点支持和发展的方向,此次微电子所牵头的国家重大科研仪器研制项目,院、所两级非常重视和支持,希望项目组发挥优势、突破创新,圆满完成项目任务。

  项目负责人夏洋作了题为《二维电子材料及纳米量子器件的研究和原位分析仪器》的报告,就项目目标、技术方案和研制购置计划、仪器研制工作条件、工作基础、正常保障、困难和不足等六个方面的工作进行了详细汇报。

  专家们随后参观了微电子设备研发测试平台。该平台按照千级净化标准建造,具有完备的电磁环境、温湿度控制、特种气体供应和安全监控,配备多台自主研发的刻蚀机、PECVD、溅射台、ALD、等离子体浸没式离子注入机等薄膜与器件制备仪器,拥有完备的测试仪器,可用于项目的配套研究。

  根据考察情况,专家组对项目团队的研发实力、平台条件给予了肯定,并针对项目执行时可能出现的困难与不足提出了建议,希望项目能够顺利按期圆满完成。

 

国家自然科学基金委信息科学部主任柴天佑院士讲话

中科院条财局曹凝副局长讲话

叶甜春所长讲话

汇报会现场

专家参观微电子设备研发测试平台

(责任编辑:Labtoday)
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